依據(jù)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范，需要對(duì)以下項(xiàng)目進(jìn)行儀器校準(zhǔn):
 
(1)尺寸測(cè)量誤差(EXY)
      當(dāng)使用線紋尺作標(biāo)準(zhǔn)器時(shí)，在垂直于影像測(cè)量?jī)x光軸的工作臺(tái)面上，沿測(cè)量范圍內(nèi)分別平行于X軸、Y軸的2個(gè)方向和2個(gè)對(duì)角線方向按規(guī)定的間隔進(jìn)行測(cè)量，各儀器校準(zhǔn)點(diǎn)的示值與參考值的差值為平面內(nèi)的尺寸測(cè)量誤差。
 
(2)垂直尺寸測(cè)量誤差(EZ)
      選擇光學(xué)量塊作為標(biāo)準(zhǔn)器，以工作臺(tái)面或適當(dāng)尺寸的量塊測(cè)量面作為起始位置，調(diào)整影像探測(cè)系統(tǒng)使目標(biāo)成像清晰并設(shè)置為零點(diǎn);，然后沿Z軸升降影像測(cè)頭，使不同測(cè)量位置上的量塊測(cè)量面成像清晰并讀數(shù)，測(cè)得值與量塊參考值的差值為垂直尺寸測(cè)量誤差。
 
(3)影像測(cè)頭尺寸測(cè)量誤差(EV)
      在視場(chǎng)范圍內(nèi)任意位置，使用微刻線尺作為標(biāo)準(zhǔn)器，在工作臺(tái)不作任何移動(dòng)的情況下測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)的線紋間距，測(cè)得值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值為影像測(cè)頭尺寸測(cè)量誤差。
 
(4)二維探測(cè)誤差(P2D)
      選擇圓形靶標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn)器，測(cè)量時(shí)將圓形靶標(biāo)平行放置于工作臺(tái)上，調(diào)整成像清晰。將影像儀在25個(gè)視場(chǎng)間移動(dòng)，在圓上大致均勻地采集25個(gè)點(diǎn)，用這25個(gè)點(diǎn)擬合最小二乘圓得到圓心，每個(gè)點(diǎn)到該圓心的距離為半徑，半徑的最大值與最小值的差值為二維探測(cè)誤差。
 
(5)影像測(cè)頭探測(cè)誤差(PV)
      選擇直徑為視場(chǎng)范圍10%～30%的圓形靶標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn)器，在視場(chǎng)不作任何移動(dòng)的情況下在圓上采集25個(gè)點(diǎn)并擬合最小二乘圓，得到圓心，計(jì)算各點(diǎn)與圓心的距離即半徑，半徑的最大值與最小值的差值為影像測(cè)頭探測(cè)誤差。
 
(6)變倍探測(cè)誤差(PZ)
      測(cè)量變倍探測(cè)誤差時(shí)，圓形靶標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)器須滿足在最小倍率時(shí)直徑為視場(chǎng)大小的10%～30%，最大倍率時(shí)可在視場(chǎng)內(nèi)獲取完整圖像。測(cè)量時(shí)工作臺(tái)不作任何移動(dòng)，測(cè)量不同放大倍率下靶標(biāo)的中心坐標(biāo)，測(cè)得的各X、Y坐標(biāo)點(diǎn)的最大值與最小值的差值為變倍探測(cè)誤差。對(duì)于大尺寸影像測(cè)量?jī)x，除尺寸測(cè)量誤差外的項(xiàng)目均可按照上述方法進(jìn)行儀器校準(zhǔn)，但若僅在標(biāo)準(zhǔn)線紋尺1000mm測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量，或僅通過(guò)線紋尺不同位置的擺放測(cè)量，則無(wú)法全面地評(píng)估影像測(cè)量?jī)x的精度。因此，通過(guò)高精度的拼接技術(shù)及擺放位置的增加，才能實(shí)現(xiàn)對(duì)大尺寸影像測(cè)量?jī)x更為精確、合理的校準(zhǔn)。